(1)X射線發生器 —— 產生X射線的裝置;
X射線發生器由X射線管、高壓發生器、管壓和管流穩定電路以及各種保護電路等部分組成。
(2)測角儀 —— 測量角度2θ的裝置;
測角儀是X射線衍射儀測量中核心部分,用來精確測量衍射角。
(3)X射線探測器 —— 測量X射線強度的計數裝置;
計數器的主要功能是將X射線光子的能量轉換成電脈沖信號。通常用于X射線衍射儀的輻射探測器有正比計數器、閃爍計數器和位敏正比探測器。
(4)X射線系統控制裝置 —— 數據采集系統和各種電氣系統、保護系統。
X射線能對人體組織造成傷害,在自己做好防護措施的同時也要確保防護系統的安全性。對設備要定期進行檢查維護,操作者要學習射線防護知識,同時也要接受射線職業健康檢查。