X射線衍射儀是采用衍射光子探測器和測角儀來記錄衍射線位置及強度的分析儀器，并通過系列技術的處理能準確地測量衍射強度和線性。X射線衍射儀主要應用于樣 品的物相定性或定量分析、晶體結構分析、材料的結構**應力的測定、 晶粒大小測定、結晶度測定等。
物相分析是X射線衍射在金屬中用得多的方面,分定性分析和定量分析。前者把對材料測得的點陣平面間距及衍射強度與標準物相的衍射數據相比較,確定材料中存在的物相;后者則根據衍射花樣的強度,確定材料中各相的含量。在研究性能和各相含量的關系和檢查材料的成分配比及隨后的處理規程是否合理等方面都得到廣泛應用。
結晶度定義為結晶部分重量與總的試樣重量之比的百分數。非晶態合金應用廣泛,如軟磁材料等,而結晶度直接影響材料的性能,因此結晶度的測定就顯得很重要了。測定結晶度的方法很多,但不論哪種方法都是根據結晶相的衍射圖譜面積與非晶相圖譜面積決定。
主要部件：
1、高穩定度X射線源提供測量所需的X射線，改變管陽極靶材質可改變波長，調節陽極電壓可控制X射線源的強度。
2、樣品及樣品位置取向的調整機構系統樣品須是單晶、粉末、多晶或微晶的固體塊。
3、衍射圖的處理分析系統，現代X射線衍射儀都附帶安裝有衍射圖處理分析軟件的計算機系統，它們的特點是自動化和智能化。
4、射線檢測器檢測衍射強度或同時檢測衍射方向，通過儀器測量記錄系統或計算機處理系統可以得到多晶衍射圖譜數據。
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