x射線熒光光譜儀是一種快速的、非破壞式的物質測量方法。X射線熒光（X-rayfluorescence，XRF）是用高能量X射線或伽瑪射線轟擊材料時激發出的次級X射線。這種現象被廣泛用于元素分析和化學分析，特別是在金屬，玻璃，陶瓷和建材的調查和研究，地球化學，法醫學，考古學和藝術品，例如油畫和壁畫。由激發源(X射線管)和探測系統構成。X射線管產生入射X射線(一次X射線)，激發被測樣品，產生X熒光(二次X射線)，探測器對X熒光進行檢測。

　　x射線熒光光譜儀的優點：

　　1、分析速度高。測定用時與測定精密度有關，但一般都很短，幾分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。

　　2、X射線熒光光譜跟樣品的化學結合狀態無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質、非晶質等物質的狀態也基本上沒有關系。（氣體密封在容器內也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現象。特別是在超軟X射線范圍內，這種效應更為顯著。波長變化用于化學位的測定。

　　3、非破壞分析。在測定中不會引起化學狀態的改變，也不會出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量，結果重現性好。

　　4、X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質上屬同一族的元素也能進行分析。

　　5、分析精密度高。

　　6、制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。

　　近年來，X熒光光譜分析在各行業應用范圍不斷拓展，已成為一種廣泛應用于冶金、地質、有色、建材、商檢、環保、衛生等各個領域，特別是在RoHS檢測領域應用得最多也*泛。